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단결정 실리콘 잉곳

설명

단결정 실리콘 잉곳is 일반적으로 성장 정확한 도핑 및 풀링 기술 Czochralski CZ, 자기장 유도 Czochralski MCZ 및 Floating Zone FZ 방법에 의해 대형 원통형 잉곳으로.CZ 방법은 반도체 장치를 만들기 위해 전자 산업에서 사용되는 최대 직경 300mm의 대형 원통형 잉곳의 실리콘 결정 성장에 가장 널리 사용됩니다.MCZ법은 전자석에 의해 자기장이 생성되는 CZ법의 변형으로 비교적 낮은 산소 농도, 낮은 불순물 농도, 낮은 전위 및 균일한 저항 변화를 달성할 수 있습니다.FZ법은 1000Ω-cm 이상의 고저항과 낮은 산소함량을 가진 고순도 결정의 달성을 용이하게 한다.

배달

Western Minmetals(SC) Corporation에서 n형 또는 p형 전도성을 갖는 단결정 실리콘 잉곳 CZ, MCZ, FZ 또는 FZ NTD는 50mm, 75mm, 100mm, 125mm, 150mm 및 200mm 직경(2, 3 , 4, 6 및 8인치), 방향 <100>, <110>, <111> 외부에 판지 상자가 있는 내부 비닐 봉지 패키지에 접지되거나 완벽한 솔루션에 도달하기 위한 맞춤형 사양으로.

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세부

단결정 실리콘 잉곳 CZ, MCZ, FZ 또는 FZ NTDWestern Minmetals(SC) Corporation의 n형 또는 p형 전도도는 50mm, 75mm, 100mm, 125mm, 150mm 및 200mm 직경(2, 3, 4, 6 및 8인치)의 크기로 제공될 수 있으며 방향은 <100입니다. >, <110>, <111> 외부에 판지 상자가 있는 플라스틱 백 패키지 내부에 접지된 표면 또는 완벽한 솔루션에 도달하기 위한 맞춤형 사양으로.

아니.	아이템	표준 사양
1	크기	2", 3", 4", 5", 6", 8", 9.5", 10", 12"
2	직경 mm	50.8-241.3 또는 필요에 따라
3	성장 방법	CZ, MCZ, FZ, FZ-NTD
4	전도도 유형	P형 / 붕소 도핑, N형 / 인 도핑 또는 도핑되지 않은
5	길이 mm	≥180 또는 필요에 따라
6	정위	<100>, <110>, <111>
7	저항 Ω-cm	필요에 따라
8	탄소 함량 a/cm³	≤5E16 또는 필요에 따라
9	산소 함량 a/cm³	≤1E18 또는 필요에 따라
10	금속 오염 a/cm³	<5E10(Cu, Cr, Fe, Ni) 또는 <3E10(Al, Ca, Na, K, Zn)
11	포장	내부 비닐 봉투, 외부 합판 케이스 또는 판지 상자.

상징	Si
원자 번호	14
원자량	28.09
요소 범주	금속 비슷한
그룹, 기간, 차단	14, 3, 피
결정 구조	다이아몬드
색깔	짙은 회색
녹는 점	1414°C, 1687.15K
비점	3265°C, 3538.15K
300K에서의 밀도	2.329g/cm³
고유 저항	3.2E5 Ω-cm
CAS 번호	7440-21-3
EC 번호	231-130-8

단결정 실리콘 잉곳, 완전히 성장하고 검증되면 저항률, 불순물 함량, 결정 완전성, 크기 및 무게를 다이아몬드 휠을 사용하여 접지하여 올바른 직경의 완벽한 실린더로 만든 다음 에칭 공정을 거쳐 연삭 공정에서 남은 기계적 결함을 제거합니다. .그 후 원통형 잉곳은 특정 길이의 블록으로 절단되고 다운스트림 웨이퍼 슬라이싱 프로세스 전에 결정학적 방향 및 전도도를 식별하기 위해 정렬을 위해 자동화된 웨이퍼 처리 시스템에 의해 노치 및 1차 또는 2차 플랫이 제공됩니다.